如何實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體研磨廢水高效處理?
發(fā)布日期:2023-05-16
近年來(lái),許多統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示,在5G、新能源汽車、人工智能、云計(jì)算等創(chuàng)新技術(shù)的推動(dòng)下,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)進(jìn)入新的增長(zhǎng)階段,產(chǎn)業(yè)規(guī)模進(jìn)入新階段,未來(lái)可期。半導(dǎo)體是戰(zhàn)略級(jí)產(chǎn)業(yè),在芯片產(chǎn)業(yè)鏈中游的晶圓制造和加工設(shè)備是非常復(fù)雜的環(huán)節(jié),特別是在化學(xué)機(jī)械研磨、晶體回磨和清洗環(huán)節(jié),耗水量巨大,成本高。那么,芯片制造商將如何處理芯片生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的研磨廢水呢?
過(guò)去一般采用普通絮凝沉淀、電絮凝、高pH值膜過(guò)濾等處理工藝。加入絮凝劑是常用的絮凝方法,但由于研磨液呈現(xiàn)出較強(qiáng)的穩(wěn)定性需要加入大量的絮凝劑才能起到絮凝作用,這無(wú)疑增加了企業(yè)的投入成本,而且,隨著絮凝劑的大量加入,產(chǎn)生的污泥量也隨之增加,使得后續(xù)的污泥處理難度加大,污染了環(huán)境,因此,各大芯片制造企業(yè)都在迫切地尋求新的解決方案。
膜技術(shù)在化工廢水處理過(guò)程中通常是將高效膜技術(shù)與活性污泥法相結(jié)合,對(duì)廢水中的有毒有害物質(zhì)進(jìn)行有機(jī)去除,達(dá)到廢水凈化的效果,減少?gòu)U水中的各種污染威脅因素。
管式超濾膜
與傳統(tǒng)的廢水處理工藝相比,管式超濾膜適用于處理高粘度、高濃度、高COD、高SS、含油液體等難處理的廢水領(lǐng)域。由各種高分子材料構(gòu)成,膜孔徑小于0.01μm,對(duì)半導(dǎo)體研磨廢水進(jìn)行處理后,其含有的懸浮物遠(yuǎn)小于標(biāo)準(zhǔn)要求。管式超濾膜具有抗污性好、高速橫流、污染不易沉積在表面、水流量大、連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),解決了電子研磨廢水處理成本高、有機(jī)物難降解的難題,實(shí)現(xiàn)了水資源的循環(huán)利用。
在半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展和進(jìn)步中,生產(chǎn)過(guò)程中必然會(huì)產(chǎn)生影響環(huán)境的廢水和其他附屬品。這就要求半導(dǎo)體企業(yè)在廢水處理過(guò)程中積極研究和探索處理方法,并根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)發(fā)展的變化,及時(shí)更新廢水處理系統(tǒng),保證廢水處理的效果,實(shí)現(xiàn)人與自然和諧發(fā)展的目標(biāo)。
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編輯:微笑女王 技術(shù):星星